潔凈廠房是以具有潔凈室和潔凈區(qū)作為重要標(biāo)志的生產(chǎn)廠房。近年來，以微電子產(chǎn)品為代表的高新技術(shù)發(fā)展迅速，電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程對生產(chǎn)環(huán)境要求十分嚴(yán)格，電子工業(yè)的潔凈廠房設(shè)計需要從各個環(huán)節(jié)嚴(yán)格要求，以確保其安全有序運行。本文我們將了解電子工業(yè)潔凈廠房在防火、疏散及電氣設(shè)計方面的基本要求。

一、防火與疏散

1、潔凈廠房的耐火等級不應(yīng)低于二級。

2、潔凈廠房內(nèi)生產(chǎn)工作間的火災(zāi)危險性，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。

3、潔凈廠房內(nèi)防火分區(qū)的劃分，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。

丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房的潔凈室(區(qū))，在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備設(shè)有火災(zāi)報警和滅火裝置以及回風(fēng)氣流中設(shè)有靈敏度嚴(yán)于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災(zāi)報警探測系統(tǒng)后，其每個防火分區(qū)的最大允許建筑面積可按生產(chǎn)工藝要求確定。

4、潔凈室的上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層和潔凈生產(chǎn)層，當(dāng)按其構(gòu)造特點和用途作為同一防火分區(qū)時，上下技術(shù)夾層的面積可不計入防火分區(qū)的建筑面積，但應(yīng)分別采取相應(yīng)的消防措施。

5、潔凈室的頂棚和墻板、技術(shù)豎井井壁的材質(zhì)選擇，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。

6、在綜合性廠房的一個防火分區(qū)內(nèi)，潔凈生產(chǎn)區(qū)域與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應(yīng)設(shè)置不燃燒體隔斷設(shè)施。不燃燒體隔斷設(shè)施應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。

7、潔凈廠房的安全出口的設(shè)置，應(yīng)符合下列規(guī)定：

(1)每一生產(chǎn)層、每個防火分區(qū)或每一潔凈室的安全出口數(shù)目，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定;

(2)安全出口應(yīng)分散布置，并應(yīng)設(shè)有明顯的疏散標(biāo)志;安全疏散距離應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。安全疏散用門應(yīng)向疏散方向開啟，并應(yīng)設(shè)觀察玻璃窗;

(3)丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房，在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備自帶火災(zāi)報警和滅火裝置以及回風(fēng)氣流中設(shè)有靈敏度嚴(yán)于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災(zāi)報警探測系統(tǒng)后，安全疏散距離可按工藝需要確定，但不得大于本條第2款規(guī)定的安全疏散距離的1.5倍。

注對于玻璃基板尺寸大于1500m×1850mm的TFT-LCD廠房，且潔凈生產(chǎn)區(qū)人員密度小于0.02人/㎡，其疏散距離應(yīng)按工藝需要確定，但不得大于120m。

8、潔凈廠房的潔凈區(qū)各層外墻應(yīng)設(shè)置專用消防口，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

(1)潔凈區(qū)各層專用消防口的設(shè)計，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定;

(2)潔凈廠房外墻上的吊門、電控自動門以及裝有柵欄的窗，均不應(yīng)作為專用消防口。

9、潔凈廠房內(nèi)有爆炸危險的房間應(yīng)靠建筑外墻布置，且不得與疏散安全口(樓梯間)貼鄰。有爆炸危險的房間的防爆措施、泄爆面積等應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。

二、配電

1、潔凈廠房的用電負荷等級和供電要求，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝及設(shè)備要求和現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《供配電系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB 50052的有關(guān)規(guī)定確定。

2、潔凈廠房低壓配電電壓等級應(yīng)符合生產(chǎn)工藝設(shè)備用電要求。帶電導(dǎo)體系統(tǒng)的型式宜采用單相二線制、三相三線制、三相四線制。系統(tǒng)接地型式宜采用TN-S或TN-C-S系統(tǒng)。

3、電子產(chǎn)品生產(chǎn)用主要工藝設(shè)備，應(yīng)由專用變壓器或?qū)Ｓ玫蛪吼侂娋€路供電。對電源連續(xù)性有特殊要求的生產(chǎn)設(shè)備、動力設(shè)備，宜設(shè)置不間斷電源或備用發(fā)電裝置等。在潔凈室(區(qū))內(nèi)宜設(shè)置獨立的檢修電源。

4、潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)(含制冷機)，應(yīng)由變電所專線供電。

5、潔凈廠房的電源進線(不包括消防電源進線)應(yīng)設(shè)置手動切斷裝置，手動切斷裝置宜設(shè)置在潔凈室(區(qū))外便于操作管理的場所。

6、潔凈室(區(qū))內(nèi)的配電設(shè)備，應(yīng)選擇不易積塵、便于擦拭的小型、暗裝設(shè)備，不宜設(shè)置落地安裝的配電設(shè)備。配電設(shè)備宜設(shè)置在下技術(shù)夾層，并應(yīng)在頂部設(shè)擋水設(shè)施。

7、潔凈廠房的電氣管線宜敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)，宜采用低煙、無鹵型電纜，穿線導(dǎo)管應(yīng)采用不燃材料。潔凈生產(chǎn)區(qū)的電氣管線宜暗敷，電氣管線管口及安裝于墻上的各種電器設(shè)備與墻體接縫處應(yīng)采取密封措施。

8、潔凈廠房內(nèi)，可燃氣體或液體的儲存、分配間的電氣設(shè)計，應(yīng)根據(jù)可燃氣體或液體的特性確定，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸和火災(zāi)危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范》GB 50058的有關(guān)規(guī)定。

三、照明

1、潔凈室(區(qū))的主要生產(chǎn)用房間一般照明的照度值宜為300～500 lx;輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200～300 lx。

2、對照度有特殊要求的電子產(chǎn)品生產(chǎn)部位應(yīng)設(shè)置局部照明，其照度值應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)操作的要求確定。

3、潔凈廠房備用照明的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

(1)潔凈室(區(qū))內(nèi)應(yīng)設(shè)備用照明;

(2)備用照明宜作為正常照明的一部分，且不應(yīng)低于該場所一般照明照度值的20%;

(3)備用照明的電源宜由變電所專線供電。

4、潔凈廠房內(nèi)應(yīng)設(shè)置供人員疏散用的應(yīng)急照明，其照度不應(yīng)低于5.0lx。在安全出入口、疏散通道或疏散通道轉(zhuǎn)角處應(yīng)設(shè)置疏散標(biāo)志。在專用消防口應(yīng)設(shè)置紅色應(yīng)急照明指示燈。

5、潔凈室(區(qū))內(nèi)照明光源，宜采用高效熒光燈。對有感光度要求的生產(chǎn)場所，宜采用黃色光源。

6、潔凈室(區(qū))內(nèi)一般照明燈具的選擇與布置，應(yīng)符合下列規(guī)定：

(1)潔凈室(區(qū))內(nèi)宜采用吸頂明裝、不易積塵、便于清潔的潔凈燈具;

(2)空氣潔凈度等級嚴(yán)于或等于5級的潔凈室(區(qū))，宜采用淚珠型燈具;

(3)當(dāng)采用嵌入式燈具時，其安裝縫隙應(yīng)采取密封措施;

(4)潔凈室(區(qū))內(nèi)燈具的布置，不應(yīng)影響氣流流型，并應(yīng)與送風(fēng)口協(xié)調(diào)布置。

四、通信與安全保護裝置

1、潔凈廠房內(nèi)應(yīng)設(shè)置通信設(shè)施，通信設(shè)施的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：

(1)潔凈室(區(qū))內(nèi)應(yīng)設(shè)置內(nèi)外聯(lián)系的通信設(shè)施。每個工序宜設(shè)置有線語音插座;

(2)潔凈室(區(qū))內(nèi)設(shè)置的無線通信系統(tǒng)，不得對電子產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備造成干擾;

(3)數(shù)據(jù)通信裝置應(yīng)根據(jù)管理及電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的需要設(shè)置;

(4)通信線路宜采用綜合布線系統(tǒng)，綜合布線系統(tǒng)的配線間不應(yīng)設(shè)在潔凈室(區(qū))內(nèi)。

2、潔凈廠房應(yīng)設(shè)置火災(zāi)自動報警系統(tǒng)，其防護等級應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《火災(zāi)自動報警系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB 50116的有關(guān)規(guī)定。當(dāng)防火分區(qū)面積超過現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016規(guī)定的最大建筑面積允許值時，保護等級應(yīng)為一級。

3、潔凈廠房的消防控制室不應(yīng)設(shè)在潔凈室(區(qū))內(nèi)。消防專用電話總機的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《火災(zāi)自動報警系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范3GB 50116的有關(guān)規(guī)定，并應(yīng)在下列場所設(shè)置消防專用電話：

(1)潔凈室(區(qū))的入口處;

(2)應(yīng)急處理中心;

(3)中央控制室;

(4)特種氣體管理室。

4、潔凈廠房內(nèi)火災(zāi)探測器的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定.

(1)潔凈生產(chǎn)區(qū)、技術(shù)夾層、機房、站房等均應(yīng)設(shè)置火災(zāi)探測器，其中潔凈生產(chǎn)區(qū)、技術(shù)夾層應(yīng)設(shè)置智能型探測器;

(2)當(dāng)潔凈廠房防火分區(qū)面積超過現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的規(guī)定時或頂部安裝點式探測器不能滿足現(xiàn)行規(guī)范設(shè)計要求時，在潔凈室(區(qū))內(nèi)凈化空調(diào)系統(tǒng)混入新風(fēng)前的回風(fēng)氣流中應(yīng)設(shè)置靈敏度嚴(yán)于0.01%obs/m的早期煙霧報警探測器;

(3)硅烷儲存、分配間(區(qū))，應(yīng)設(shè)置紅外線-紫外線火焰探測器;

(4)潔凈生產(chǎn)區(qū)、走道和技術(shù)夾層(不包括不通行的技術(shù)夾層)應(yīng)設(shè)置手動報警按鈕和聲光報警裝置。

5、潔凈廠房應(yīng)設(shè)置火災(zāi)自動報警及消防聯(lián)動控制?？刂圃O(shè)備的控制及顯示功能應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《火災(zāi)自動報警系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB 50116的有關(guān)規(guī)定，潔凈室(區(qū))火災(zāi)報警應(yīng)進行核實，當(dāng)確認火災(zāi)后，在消防控制室應(yīng)對下列各項進行手動控制：

(1)關(guān)閉有關(guān)部位的電動防火閥，停止相應(yīng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風(fēng)機、排風(fēng)機和新風(fēng)機，并接收其反饋信號;

(2)啟動排煙風(fēng)機，并接收其反饋信號;

(3)在消防控制室或低壓配電室，手動切斷有關(guān)部位的非消防電源。

6、潔凈廠房內(nèi)下列場所應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報警裝置：

(1)易燃、易爆、有毒氣體的儲存分配間(區(qū));

(2)易燃、易爆、有毒氣體的氣瓶柜和分配閥門箱內(nèi);

(3)工藝設(shè)備的氣體分配箱和排風(fēng)管內(nèi)。

7、潔凈廠房內(nèi)氣體報警裝置的聯(lián)動控制，應(yīng)符合下列規(guī)定：

(1)應(yīng)自動啟動相應(yīng)的事故排風(fēng)裝置;

(2)應(yīng)自動關(guān)閉相關(guān)部位的進氣閥;

(3)應(yīng)自動關(guān)閉相關(guān)部位的電動防火門、防火卷簾門;

(4)報警信號應(yīng)發(fā)送至消防控制室和氣體控制室。應(yīng)自動啟動泄漏現(xiàn)場的聲光警報裝置和應(yīng)急廣播。

8、潔凈廠房內(nèi)易燃、易爆、有毒氣體泄漏報警值應(yīng)為其爆炸下限值或允許濃度值的20%。

9、潔凈廠房設(shè)置的事故應(yīng)急廣播系統(tǒng)應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《火災(zāi)自動報警系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB 50116的有關(guān)規(guī)定。潔凈室(區(qū))內(nèi)應(yīng)采用不影響空氣潔凈度等級的揚聲器。

10、潔凈廠房內(nèi)的安全保護系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源。

11、潔凈室(區(qū))火災(zāi)報警、氣體泄漏報警系統(tǒng)的控制、通訊和警報線路應(yīng)采用阻燃型電纜，電纜敷設(shè)應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《火災(zāi)自動報警系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB 50116的有關(guān)規(guī)定。

12、潔凈廠房內(nèi)的各類安全保護系統(tǒng)均應(yīng)可靠接地，系統(tǒng)接地應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《火災(zāi)自動報警系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB 50116的有關(guān)規(guī)定。

五、自動控制

1、潔凈廠房的自動控制系統(tǒng)宜采用集散式網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)，并應(yīng)具有穩(wěn)定、可靠、節(jié)能、開放和可擴展性。

2、潔凈廠房應(yīng)對凈化空調(diào)、供熱、供冷、純水和氣體供應(yīng)等系統(tǒng)進行自動監(jiān)控。

3、潔凈室(區(qū))內(nèi)外的壓差監(jiān)測，宜采用壓差變送器通過控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)潔凈室(區(qū))的送風(fēng)量或回風(fēng)量。

4、凈化空調(diào)系統(tǒng)采用電加熱器時，電加熱器與風(fēng)機應(yīng)聯(lián)鎖控制，并應(yīng)設(shè)置無風(fēng)、超溫斷電保護;當(dāng)采用電加濕器時，應(yīng)設(shè)置無水、無風(fēng)斷電保護。

5、在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，宜對風(fēng)機、水泵等動力設(shè)備采取變頻調(diào)速等節(jié)能控制措施。

六、接地

1、功能性接地、保護性接地、電磁兼容性接地、建筑防雷接地宜采用共用接地系統(tǒng)。接地電阻值應(yīng)按其中最小值確定，且不應(yīng)大于1Ω。

2、當(dāng)電子設(shè)備的功能接地要求分開設(shè)置時，應(yīng)設(shè)有防止雷電反擊設(shè)施。分開設(shè)置的接地系統(tǒng)接地極應(yīng)與共用接地系統(tǒng)接地極保持20m以上的間距。

3、潔凈廠房防雷接地設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑物防雷設(shè)計規(guī)范》GB 50057的有關(guān)規(guī)定。